| 品牌 | 昊量光電 | 供貨周期 | 現(xiàn)貨 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
WLI白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo
三豐Mitutoyo新推出具有更高干涉信號對比度，可以同時測高反射率部分和低反射率部分樣品的白光干涉顯微鏡及物鏡。
白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo特點：
● 實現(xiàn)非接觸式3D表面形狀測量和輪廓測量
可利用白光干涉原理實現(xiàn)非接觸式高精度細(xì)微表面性狀測量
（例如：3D形狀測量、3D粗糙度測量）
● 不依賴于光學(xué)倍率的高度測量精度
即使是低倍率鏡頭，也可使用Z向高分辨力進行測量
● 高縱橫比測量
不依賴于光學(xué)系統(tǒng)的NA進行檢測，支持高縱橫比形狀測量
● 抗干擾震動的高穩(wěn)定性
● 小型輕便
使用一般的WLI系統(tǒng)，測量不同反射率的產(chǎn)品時：
當(dāng)視野中包含高反射率和低反射率的部分
1)配合反射率高的部分調(diào)整光量時，反射率低的部分會光量不足。
2)配合反射率低的部分調(diào)整光量時，反射率高的部分光量發(fā)生飽和，無法測量。
而使用三豐的WLI測量反射率不同地方的測量時，當(dāng)視野中包含反射率高部分和反射率低部分，光量對準(zhǔn)反射率低的部分，也可測量反射率高的部分。
白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產(chǎn)品規(guī)格：
| 貨號 | 554-001 | 554-002 | 554-003 | |
| 產(chǎn)品名稱 | WLI-Unit-003 | WLI-Unit-005 | WLI-Unit-010 | |
| WLI-Unit傳感器測頭 | 電纜長度 | 5 | ||
| 適用物鏡 | WLI Plan Apo系列 | |||
| 成像倍率 | 1× | |||
| 焦距f（mm） | 100 | |||
| 掃描裝置 | 物鏡掃描儀 | |||
| 尺寸/質(zhì)量 | 108×68×191mm/1.7kg | |||
| WLI測量 | Z向移動范圍 | 8000 um | ||
| 測量模式 | 高通量 | 標(biāo)準(zhǔn) | 高分辨率 | |
| WLI測量Z向范圍 | 2100 um | 1900 um | 1700 um | |
| 通量 @ 20um范圍 | 3 s | 4 s | 6 s | |
| Z向分辨率 | - | 4 nm | ||
| Z向重復(fù)性 | - | 40 nm | ||
| 軟件 | WLIPAK | WLI-Unit控制庫SDK、示例代碼、WLIPAK示例GUI | ||
| WLI-Unit校準(zhǔn)SW | 像素校準(zhǔn) | |||
| 分析軟件(推薦選件) | MCubeMap | |||
| 其它 | 圖像采集卡/PC | Matrox圖像采集卡（標(biāo)配）/另需準(zhǔn)備PC | ||
白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo案例：
白光干涉測量用物鏡WLI Plan Apo
白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產(chǎn)品特點：
與WLI-Unit配套的新設(shè)計
確保長工作距離，小型輕量化（齊焦距離60mm）
高NA，高分辨力
平場復(fù)消色差
物鏡內(nèi)部搭載分光器和參考鏡
標(biāo)配干涉條紋調(diào)整裝置
上海市徐匯區(qū)虹梅路2007號6號樓3樓
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